メカトロニクス、圧電アクチュエータ、放電加工

機械を作るための機械や加工法を創る

圧電アクチュエータを用いた超精密位置決め機構

ナノメートル（10^-9m）オーダの精度を目指して，圧電アクチュエータを用いた通常サイズの機械とマイクロマシンの隙間を埋めるサイズの機構を開発している．アザラシの動きをまねてステップ状に移動する機構では，ナノメータオーダの位置決め精度を達成している．

電流パルスで駆動する方法では，圧電アクチュエータのヒステリシスが大幅に改善される．ナノメータオーダの分解能で，ステッピングモータと同様のオープンループ制御も可能である．

ものづくりのための加工法?小型機構

ものづくりのための技術として，電解液中で放電を発生させてガラスや圧電セラミックスなどの無機絶縁体を加工する方法や，放電を用いて金属粉末を積層することで立体を製作する積層造形法を研究している．

アザラシ型精密位置決め機構を電極送り機構に適用すると，多数の穴を加工することが必要とされる小型部品に，細穴を同時に加工する加工システムを構成できる．このような小型生産機械システムは省エネルギー化にも貢献できる．

月?惑星科学探査機器の要素技術

月?惑星などを対象とした科学探査のためのメカトロニクス，加工技術の開発を行っている．ワイヤソー切断装置および振動加工による表面平滑化装置を試作し，真空環境下で基本的な加工特性を調べている．特殊環境で作業する機械のための要素技術やそれを製作する技術も開発している．

産学連携について

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