| 課題番号 | 支援機能名 | 業務形態名 | 実施課題名 | 成果報告 |
|---|---|---|---|---|
| 08-06 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
微小面積薄膜のレーザー加熱による変形 | 詳細 |
| 08-10 | 超微細加工 | 装置利用 | プローブ顕微鏡によるピエゾ抵抗体材料の導電機構解析 | 詳細 |
| 08-11 | 超微細加工 | 技術代行 | カーボンナノチューブ探針の作成とその応用 | 詳細 |
| 08-12 | 超微細加工 | 装置利用 | 集積回路の故障解析 | 詳細 |
| 08-14 | 超微細加工 | 技術相談 | 電子線露光技術を用いたナノ構造の試作 | 詳細 |
| 08-18 | 超微細加工 | 装置利用 | 有機半導体デバイスの作製?評価方法の研究 | 詳細 |
| 08-19 | 超微細加工 | 装置利用 | PV多結晶シリコン溶融炉の開発 | 詳細 |
| 08-21 | 超微細加工 | 装置利用 | 金属表面での結晶成長プロセスの微視的研究 | 詳細 |
| 08-23 | 超微細加工 | 装置利用 | 電子線露光技術を用いたナノ構造の試作 | 詳細 |
| 08-24 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
薄膜加工技術を用いたメンブレンフィルターチップの開発 | 詳細 |
| 08-25 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
太陽電池用母材（シリコンウハー）の調査 | 詳細 |
| 08-30 | 超微細加工 | 装置利用 | 特殊形状基板への絶縁膜コーディング技術の開発 | 詳細 |
| 08-31 | 超微細加工 | 装置利用 | 結晶シリコン太陽電池における電極ペーストが与える諸物性評価 | 詳細 |
| 08-36 | 超微細加工 | 技術代行 | 結晶Si太陽電池用Agペーストの評価技術検討 | 詳細 |
| 08-38 | 超微細加工 | 技術相談 | 新型ガスセンサーに関する技術相談 | 詳細 |
| 課題番号 | 支援機能名 | 業務形態名 | 実施課題名 | 成果報告 |
|---|---|---|---|---|
| 09-01 | 超微細加工 | 装置利用 | 電子線描画装置を用いた多層薄膜のナノ加工 | 詳細 |
| 09-02 | 超微細加工 | 技術相談 装置利用 |
結晶シリコン太陽電池用受光面銀ペーストの焼成挙動について | 詳細 |
| 09-03 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 09-04 | 超微細加工 | 技術相談 装置利用 |
新規プローブの開発 | 詳細 |
| 09-05 | 超微細加工 | 装置利用 | 触媒ナノ粒子を用いたCVD膜中引張応力制御 | 詳細 |
| 09-06 | 超微細加工 | 協力研究 | プローブ顕微鏡を用いた物性測定 | 詳細 |
| 09-07 | 超微細加工 | 装置利用 | 電子線ビーム露光技術を利用した触媒ナノ粒子のパターン配置 | 詳細 |
| 09-08 | 超微細加工 | 技術代行 | （公開猶予） | - |
| 09-09 | 超微細加工 | 装置利用 | 超微細加工技術を用いたマイクロ流路チップの開発 | 詳細 |
| 09-10 | 超微細加工 | 協力研究 | MoO2ナノチューブのナノ物性測定 | 詳細 |
| 09-11 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 09-12 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 09-13 | 超微細加工 | 協力研究 | a-SiNx:H/Si界面特性の面方位依存症 | 詳細 |
| 09-14 | 超微細加工 | 装置利用 | CNT深針STMによる分子吸着構造の解明 | 詳細 |
| 09-15 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
ナノレベルで膜厚を制御した透明導電膜の光学的特性評価 | 詳細 |
| 09-16 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 09-17 | 超微細加工 | 技術相談 装置利用 |
結晶Si太陽電池用Agペーストの評価技術検討 | 詳細 |
| 09-18 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 09-19 | 超微細加工 | 装置利用 協力研究 |
次世代メモリ用材料GeSbTe薄膜のCVD成膜 | 詳細 |
| 09-20 | 超微細加工 | 装置利用 | 化合物半導体デバイス構造?シリコン?フラーレンナノ構造の作製と評価支援 | 詳細 |
| 09-21 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
（公開猶予） | - |
| 09-22 | 超微細加工 | 協力研究 | 高分子を利用した分光機能集積型MEMS赤外線センサの改良 | 詳細 |
| 09-23 | 超微細加工 | 協力研究 | (公開猶予) | - |
| 09-24 | 超微細加工 | 技術相談 | ナノコロイドの産業応用に関する技術相談 | 詳細 |
| 09-25 | 超微細加工 | 装置利用 | 無機材料表面のナノ構造形成に関する研究 | 詳細 |
| 09-26 | 超微細加工 | 協力研究 | ナノ粒子薄膜のAFM観察 | 詳細 |
| 09-27 | 超微細加工 | 技術相談 装置利用 |
SOIウェハ基盤層およびボックス層のエッチングに対する活性層に作製したデバイス構造の保護方法 | 詳細 |
| 09-28 | 超微細加工 | 装置利用 | Effect of Deposition Parameters on the Surface Morphology of Yb-doped TiO2 Photocatalyst Films prepared by Rf-magnetron Sputtering Process |
詳細 |
| 09-29 | 超微細加工 | 装置利用 | プラズマCVD装置を使用したカーボンナノチューブ深針の作製 | 詳細 |
| 09-30 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 09-31 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 09-32 | 超微細加工 | 技術代行 協力研究 |
GaAs/GaNAs多重量子井戸構造（MQW）の伝導特性評価 | 詳細 |
| 09-33 | 超微細加工 | 装置利用 | XPS investigation of Er/Yb-doped TiO2 Photocatalyst Films prepared by Rf-magnetron Sputtering Process | 詳細 |
| 09-34 | 超微細加工 | 協力研究 | （公開猶予） | - |
| 09-35 | 超微細加工 | 装置利用 | Graphite/Sic及びNio/AuのSTM?AFM観察 | 詳細 |
| 09-36 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
細胞捕捉フィルムの開発 | 詳細 |
| 09-37 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
単一分子検出マイクロ流路チップの開発 | 詳細 |
| 09-38 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 09-39 | 超微細加工 | 技術代行 | InAs量子ドットの低温成長 | 詳細 |
| 09-40 | 超微細加工 | 技術代行 | （公開猶予） | - |
| 09-41 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 09-42 | 超微細加工 | 装置利用 | 高分子－粘土ナノッコンポジットの結晶化挙動の解明 | 詳細 |
| 09-43 | 超微細加工 | 協力研究 | GaSb系量子ドットの蛍光計測による評価と応用素子機能の予測 | 詳細 |
