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誘導電荷を利用した圧電素子の変位制御 ｜ 変位センサ

誘導電荷を利用した圧電素子の変位制御

  1. 山川耕志郎, 古谷克司, 毛利尚武: SPM型ナノ加工機の開発(第2報)?誘導電荷フィードバックによるテーブルの制御?, 1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 東京都文京区, p. 94 (1999)
  2. Katsushi Furutani, Mitsunori Urushibata, Naotake Mohri: Condition Monitoring of Stacked Piezoelectric Actuator Using Induced Charge, Proceedings of 13th Annual Meeting of American Society for Precision Engineering, St. Louis, Missouri, USA, 18, pp. 275-278 (1998)
  3. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 誘導電荷を利用した積層型圧電素子の変位制御, 平成10年電気学会電子?情報?システム部門大会講演論文集, 名古屋市千種区, pp. 421-424 (1998)
  4. Katsushi Furutani, Mitsusnori Urushibata, Naotake Mohri: Displacement Control of Piezoelectric Element by Feedback of Induced Charge, Nanotechnology, 9, 2, pp. 93-98 (1998)
  5. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 誘導電荷を利用した積層型圧電アクチュエータの変位?力の推定, 第10回電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集, 宮城県遠刈田郡蔵王町, pp. 491-496 (1998)
  6. Katsushi Furutani, Mitsunori Urushibata, Naotake Mohri: Improvement of Control Method for Piezoelectric Actuator by Combining Induced Charge Feedback with Inverse Transfer Function Compensation, Proceedins of the 1998 IEEE International Conference on Robotics and Automation, Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, Belgium, 2, pp. 1504-1509 (1998)
  7. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 誘導電荷のフィードバックによる圧電素子の変位制御, 精密工学会誌, 64, 4, pp. 562-566 (1998)
  8. 漆畑満則, 古谷克司, 毛利尚武: 誘導電荷検出による圧電素子の状態認識(第3報)?位置決め精度の検討?, 1998年精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 川崎市多摩区, p. 711 (1998)
  9. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 逆伝達関数補償法を用いた誘導電荷フィードバックによる圧電素子の変位制御, 第40回自動制御連合講演会前刷集, 石川県石川郡野々市町, pp. 331-334 (1997)
  10. 漆畑満則, 古谷克司, 毛利尚武: 誘導電荷検出による圧電素子の状態認識(第2報)無負荷時の変位制御, 1997年精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 神戸市灘区, p. 577 (1997)
  11. Katsushi Furutani, Mitsunori Urushibata, Naotake Mohri, Displacement Control of Piezoelectric Element by Feedback of Induced Charge, Proceedings of 5th Biennial Nanotechnology Symposium, Noda, Chiba, Japan, pp. 26-27 (1997)
  12. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 誘導電荷による積層型圧電素子の状態認識, 平成９年電気学会電子?情報?システム部門大会講演論文集, 東京都武蔵野市, pp. 479-482 (1997)
  13. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 誘導電荷フィードバックによる圧電アクチュエータの変位制御,平成9年度電気学会産業応用部門全国大会講演論文集, 新潟県長岡市, 3, pp, 179-182 (1997)

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変位センサ

  1. Katsushi Furutani, Naotake Mohri, Toshiro Higuchi: A Built-in Displacement Sensor for An Impact Drive Mechanism, Measurement Science and Technology, 10, 6, N63-N66 (1999)
  2. Katsuhi Furutani, Naotake Mohri, Toshiro Higuchi: Displacement Sensor for Small Linear Drive in Local Machining Station, Proceedings of 2nd International Symposium on Linear Drives for Industry Applications, Tokyo, Japan, pp. 147-150 (1998)
  3. 古谷克司, 毛利尚武, 樋口俊郎: ローカル?マシニング?ステーション方式による精密加工(第2報)変位測定機能を持つ移動基準面の開発, 1994年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 東京都文京区, pp. 769-770 (1994)

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Last modified on 07/02/2002 at 09:50:52 by Katsushi Furutani